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日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

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产品详情

日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品简介:

质量流量计是用来测量或控制气体流量的一种设备。流量一般分为体积流量和质量流量,但是气体的体积易受到外界的温度和压力的影响,如需准确测量,需不断的改变测量条件来配合不断改变的外界环境。而质量流量,是利用测量气体的质量,而质量是不受外界的环境的影响,从而可以提供高精度流量检测和控制,且在半导体制造制程有广泛的使用。


日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器产品特点:

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

1.适用于高温:可满足150℃烘焙

2.产品阵容中有可满足使用温度的产品型号

3.超清洁类型:接气部全不锈钢构造

4.适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制



日本Horiba STEC SEC-8440F 8450气体质量流量控制器技术参数:

SEC-8340SL 搭载有主体加温加热器

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:80?9?1100℃

 

SEC-8340SM 本体加温ヒータ搭載

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:100?9?1120℃

 

SEC-8440LSL

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?9?135℃

 

SEC-8450LSL

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程10/20 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?9?135℃

 

SEC-8455LSL

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程30/50 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?9?135℃

 

SEC-8460LSL

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程50/100 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:15?9?135℃

 

SEC-8440LSM

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?9?160℃

 

SEC-8450LSM

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程10/20 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?9?160℃

 

SEC-8455LSM

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程30/50 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?9?160℃

 

SEC-8460LSM

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程50/100 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:35?9?160℃

 

SEC-8440LSH

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?9?180℃

 

SEC-8450LSH

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程10/20 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?9?180℃

 

SEC-8455LSH

气体接触部材质SUS-316L
阀门类型NO: 非通电时:开
标准流量量程30/50 SLM
流量控制范围2?9?1100% F.S.(满量程)
流量精度±1.0% F.S.(满量程)  使用温度:60?9?180℃