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日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。

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产品详情

日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。


日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器产品简介:

MARK3系列是在未改变质量流量控制器所须的品质特性的条件下*底实现成本降低的量产产品。材质和泄漏規格则与一般型号产品的SEC-400、SEC-500系列完全一致。主要用途为制程用的气体流量控制、根据关注于重复性以及限定气体的种类、流量进行大量生产、实现了大幅度的成本降低。适合于定流量、长时间的稳定控制重复控制的场合。而且也同样适用于研究所的简易流量控制。


日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器产品特征:

具有广泛的用途

追求成本优势、实现成本降低



日本Horiba STEC SEC-E50MK3气体质量流量控制器技术参数:

型号

SEC-

 (质量流量控制器)

E40/E40MK3

E50/E50MK3

SEF- (质量流量计)

E40

E50

适用气体种类*1

非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)

气体接触部材质

SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢

阀门型号

非通电时关闭

标准流量量程

 (N2相应F.S.)

10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM

20/30 SLM

流量控制范围
(适于SEC系列)

2?100% F.S.

流量测量范围
(适于SEF系列)

0?100% F.S.

响应速度

1秒以内(T98)

流量精度

±1% F.S.

直线性

±0.5% F.S.

反复性

±0.2% F.S.

工作差压值值 
(适于SEC系列)

10 SCCM?5 SLM:50?300kPa(d)?10?30 SLM:100?300kPa(d)

使用压力
(适于SEF系列)

300kPa(G)以下

耐压

1MPa(G)以下

外部泄漏率

1×10-8Pa?m3/s(He)以下

使用环境温度

5?50℃(精度的确保:15?35℃)

流量设定信号

0.1?5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2?100% F.S.

流量输出信号

0?5VDC(很小负荷电阻2kΩ)

驱动电源

+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA

+15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA

标准接头*2

1/4SWL 类型