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DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机配有真空腔,射频电源,真空泵,控制系统,流量控制系统。

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产品详情

DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介:

设备简介:

1、真空腔

采用进口材料制作而成,焊接无漏气,*优化 8 层电*设计合理利用空间,专业等离子发生方式,绝缘可靠良好。

2、射频电源

*全可靠的射频电源(13.56MHz),为等离子的产生提供保障。

3、真空泵

快速静音抽真空系统设计,真空度可至 10pa 以内,保证设备使用的各个需求压力。

4、控制系统

PLC+触摸屏自动控制系统设计,方便客户使用和操作。

5、流量控制系统

专业闭环流量控制系统,保证工艺气体的准确,确保等离子的效果的稳定。


装机前准备:

1、压缩空气:≥0.5mpa,ø6mm PU 管

2、工艺气体:AR&O2(纯度:≥99.999%)0.15~0.25mpa,ø6mm PU 管

3、废气排放:ø50mm 接口

4、主电源:≥ 4mm2 电源线(三相五线),5.7KW Main


设备工作流程:

1、真空抽取:将产品放置腔体内,关上腔体门,打开真空泵,将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;

2、添加工艺气体:将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内,均匀分布;

3、产生等离子:射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体,形成等离子体;

4、产品处理:根据设置时间处理产品的等离子处理时间;

5、破真空:产品处理完成后,打开破真空电磁阀,将真空腔压力恢复至常压取出产品。


DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机技术参数:

名称(Name)

Vacuum Plasma system真空等离子清洗机

型号(Model)

DSX- VPD-8L-S

技术参数(Technical Parameter)

备注(Remarks)

1

控制系统

(Control system)

PLC+HMI

Mitsubishi

2

真空泵

Vacuum Pump

旋片式真空泵

Rotary vacuum pump

TVP

3

等离子发生系统

Plasma generator

射频电源 0-1000w+全网络自动匹配器

RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network

KVMEN

4

真空监控系统Vacuum Guage

皮拉尼电阻式真空计

Pirani resistance vacuum gauge

Ulvac

5

气体流量控制系统Mass Flow Control

质量流量控制器

MFC control system

ETON

6

气体控制系统

Gas control system

二通电磁阀控制

2 Channel solenoid valve control

SMC

7

抽真空控制系统Vacuum output control

高真空气动挡板阀 GDW-KF40

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40

ISO standard

8

破真空控制系统Vacuum breaking control

高真空气动挡板阀 GDW-KF16

Hi-level vacuum pneumatic flapper valve

ISO standard

9

电*层数

Electrode Layer

水平电*板 8 层(层数可选)

8 Layers of horizontal electrode plate(Option)

AL6061-L

10

有效处理面积

Effective treatment area

300mm(D)*400mm(W)

Option

11

工艺气体通道

Process gas channel

两路工作气体可选择:AR O2 N2 H2 CF4 等

2 channels process gases option: AR O2

Option

12

腔体规格

Chamber Size

450mm(W)*450mm(D)*400mm(H)

AL-6061-L

13

整机外形尺寸

Layout Size

995mm(W)*1085mm(D)*1750mm(H)



名称(Name)

Vacuum Plasma system

型号(Model)

DSX-VPO-8L-S

技术参数(Technical parameters)

备注Remarks

1

设备电源Power supply

3P : 380VAC 50/60Hz


2

设备功率Power KW

5.7KW


3

工作真空度

Working vacuum point

10-100Pa


4

抽真空时间

Vacuum output time

≤100s


5

破真空时间

Vacuum breaking time

≤30s


6

射频电源功率

RF Power KW

0-1000W


7

机台重量Weight

≤500KG


8

质量流量控制系统

MFC Range

0-200sccm


9

操作方式

Mode of operation

全自动运行系统,一键启动

Fully auto operation system, One-key starting